在高真空環境中，都存在有一定的殘余氣體。由于水分子量比氧氣，氮氣等空氣主要成分的分子量都小，因此，無論是油擴散泵還是分子泵，都無法迅速，有效地將其抽出，故而越積越多，最后成為占殘余氣體65%~95%以上的剩余氣體；
同時，由于真空泵在使用過程中不可避免的會產生泵油蒸發現象，會有少量油蒸汽進入真空系統。
由于水蒸氣和油蒸汽的存在，導致真空系統無法迅速達到客戶使用所需的真空度，導致抽真空時間變長，生產效率下降，所需真空度越高，環境濕度越大，影響越明顯。
同時，水蒸氣，油蒸汽的存在，會導致膜層牢固度下降，無法多層鍍膜，顏色不均一等。
水蒸氣在某些條件下還會電離，產生氧氣，使靶材氧化，導致鍍膜顏色發生變化。環境濕度越大，溫度越高，所需真空度越高，影響越大。 因此，水蒸氣，油蒸汽是真空鍍膜領域及高真空獲得領域的主要危害氣體。
水汽捕集泵能將一個能到-120℃以下的制冷盤管，放置在真空室中或油擴散泵的泵口，通過其表面的低溫冷凝效應，迅速捕集真空系統的殘余氣體。從而大大縮短抽真空的時間(可縮短60-90%的抽氣時間)、獲得潔凈的真空環境
深冷水汽捕集泵配套真空鍍膜機，真空鍍膜系統種類繁多，無論何種真空鍍膜系統都需要一套深冷水汽捕集泵，水氣分子容易被氣體污染，深冷水汽捕集泵可把水氣分子凝結在超低溫表面上，快速地從真空系統中捕集和抽除水氣分子，能縮短 20% ~ 75%的抽真空的時間，縮短工作周期，提高產量和品質。
